公開日期 | 題名 | 作者 | 關聯 | scopus | WOS | 全文 |
---|---|---|---|---|---|---|
2014 | Low-Temperature Microwave Annealing Processes for Future IC Fabrication—A Review | Yao-Jen Lee; Ta-Chun Cho; Shang-Shiun Chuang; Fu-Kuo Hsueh; Yu-Lun Lu; Po-Jung Sung; Hsiu-Chih Chen; Michael I. Current; Tseung-Yuen Tseng; Tien-Sheng Chao; Chenming Hu; Fu-Liang Yang | IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES 61, NO.3 |