Metal contact formation by microdeposition of nondestructive particles from focused-ion-beam sputtering

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題名:	Metal contact formation by microdeposition of nondestructive particles from focused-ion-beam sputtering
作者:	Shiue, J. Kuo, P. C. Wang, Y. L.
公開日期:	2007-01-01
關聯:	Journal of Vacuum Science & Technology BL, 1-4
URI:	http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/46587
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