Formation of Crystalline Carbon Nitride Films by Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition.

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題名:	Formation of Crystalline Carbon Nitride Films by Microwave Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition.
作者:	L. C. Chen C. Y. Yang D. M. Bhusari K. H. Chen M. C. Lin J.-C. Lin T. J. Chuang
公開日期:	1996
關聯:	Diamond Relat. Mater. Vol.5 514-518.
URI:	http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/44907
顯示於：	原子與分子科學研究所

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