Texture and microstructure development of RF sputter-deposited polycrystalline lithium transition metal oxide thin films

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題名:	Texture and microstructure development of RF sputter-deposited polycrystalline lithium transition metal oxide thin films
作者:	Chiu, KF Hsu, FC Chen, GS Wu, MK
公開日期:	2003-04-01
關聯:	JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY150(4),A503-A507
URI:	http://ir.sinica.edu.tw/handle/201000000A/47940
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